仪用压缩空气固体颗粒净化等级核心依据GB/T 13277.1-2023《压缩空气 第 1 部分：污染物净化等级》（等同采用 ISO 8573-1:2010），按粒径区间的颗粒数量与质量浓度分级，0-7 级 + X 级覆盖不同洁净需求，测量遵循 GB/T 13277.4 或 ISO 8573-8。
一、分级核心指标（表 1：压缩空气中颗粒等级）
| 等级 | 0.1μm＜d≤0.5μm（个 /m³） | 0.5μm＜d≤1.0μm（个 /m³） | 1.0μm＜d≤5.0μm（个 /m³） | 颗粒质量浓度 Cₚ（mg/m³） | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| 0 | 由用户 / 制造商规定（高于 1 级） | 由用户 / 制造商规定（高于 1 级） | 由用户 / 制造商规定（高于 1 级） | 由用户 / 制造商规定（高于 1 级） | 超精密电子、半导体、芯片制造 |
| 1 | ≤20,000 | ≤400 | ≤10 | — | 精密仪器、光学设备、高端分析仪表 |
| 2 | ≤400,000 | ≤6,000 | ≤100 | — | 仪用空气主流（气动定位器、分析仪表） |
| 3 | 不规定 | 不规定 | 不规定 | ≤1 | 一般工业、普通气动阀、非精密仪表 |
| 4 | 不规定 | 不规定 | 不规定 | ≤5 | — |
| 5 | 不规定 | 不规定 | 不规定 | ≤10 | — |
| 6 | 不规定 | 不规定 | 不规定 | 0＜Cₚ≤5 | 工业工具、气动机械（5μm 过滤器） |
| 7 | 不规定 | 不规定 | 不规定 | 5＜Cₚ≤10 | 一般气动设备（40μm 过滤器） |
| X | 不规定 | 不规定 | 不规定 | Cₚ＞10 | 无特殊洁净要求的粗用场合 |
注：判定时需满足对应等级下所有粒径区间的颗粒数量限制；存在＞5μm 颗粒时，1-5 级不适用。
二、仪用空气常用等级与选型
主流等级（Class 2）：0.1μm＜d≤0.5μm≤400,000 个 /m³、0.5μm＜d≤1.0μm≤6,000 个 /m³、1.0μm＜d≤5.0μm≤100 个 /m³，适配气动阀门定位器、在线分析仪等关键仪表，避免卡涩与测量漂移。
基础等级（Class 3）：质量浓度≤1mg/m³，适用于普通气动执行机构、非精密仪表，平衡成本与净化效果。
特殊等级（Class 1/0）：Class 1 用于超高精密仪表（如微量成分分析仪），Class 0 用于半导体等超净场景，需定制净化方案。
三、测量与应用要点
测量规范：标准状态（20℃、0.1MPa (a)、无水蒸气）下，用激光粒子计数器按 GB/T 13277.4 检测粒径分布，质量浓度按 ISO 8573-8 测量。
系统匹配
Class 2：前置粗滤 + 精密过滤器（1μm）+ 后置保护滤，适配 E+H、罗斯蒙特等精密仪表。
Class 3：前置粗滤 + 通用过滤器（3-5μm），适配普通气动阀组。
验收规则：实测需同时满足对应等级的粒径数量与质量浓度限制，任一指标超标则降级判定。
四、与旧版差异（GB/T 13277.1-2008）
细化 0-2 级粒径区间颗粒数量限值，补充质量浓度分级（3-7 级 + X 级），与国际标准完全对齐，适配仪用空气高精度需求。
